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FCVA鍍膜及其應用

       在中國縫制機械行業(yè)“十二五”時期主要技術攻關方向中,新材料、新工藝是一個重要領域。在“十一五”期間的行業(yè)科技開發(fā)實施指南中,新材料、新工藝在產品中的開發(fā)與應用就已經(jīng)是重要內容,主要體現(xiàn)在無油、微油潤滑材料和特種材料涂覆工藝的應用與開發(fā),通過在縫制機械的高速運轉部件采用耐磨材料涂覆技術,實現(xiàn)無油或微油潤滑。

      材料及其涂覆工藝的發(fā)展與進步,對縫制機械的性能、品質的提升有積極的促進作用。尤其在高速自動化縫紉機的品種和數(shù)量均大幅增加的情況下,如何通過新材料、新工藝的應用滿足和提升高速自動化縫紉機的各項性能要求,是縫制機械制造商正在考慮的事情。

      目前應用于縫制機械的新材料很多,比如多元填充高分子材料、陶瓷、金屬鈦、特氟龍、低溫液態(tài)化油脂等。而陶瓷、金剛石粉、鈦合金、多元填充高分子材料等特種材料的涂覆工藝也在不斷改進并且越來越多地應用于縫制機械中。

      鍍膜,是應用新的材料及新的涂覆工藝較多的一道工序。已經(jīng)有不少高速自動化縫紉機的零部件在鍍膜時采用了新膜層材料和新鍍膜方式。我們知道,鍍膜涉及兩項基本內容,一是鍍膜的技術與方法,二是所鍍膜層的材料。不同的鍍膜方式,所達到的鍍膜效果不同,膜層的性能發(fā)揮情況也隨之有差異,而采用不同的鍍層材料也有不同的性能表現(xiàn)。

      1 不同的鍍膜技術

      在微觀環(huán)境下看,鍍膜就是將一些物質(反應物)的分子、原子或者離子通過一定的方式被分解出來在其所具有的能量作用下涂覆(沉積)在需要鍍膜的工件(基體)上。鍍膜時,要考慮膜層、工件材料的物理或化學性質,選擇合適的鍍膜方法將膜層緊緊地附著于工件上并且要產生好的性能效果。

      真空鍍膜技術就是在真空環(huán)境下,通過化學、物理方式將反應物或者靶材沉積到基體上的薄膜氣相沉積技術。鍍膜通常需要在干凈、純粹的真空環(huán)境下進行,既為了避免污染(減少成膜過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質的量),也在于膜層材料的分子、原子化學性活躍,在常溫常態(tài)下容易出現(xiàn)問題(比如分子間的碰撞、氧化反應)。

      根據(jù)反應方式分,真空鍍膜技術有PVD(物理氣相沉積)、CVD(化學氣相沉積)以及FCVA等。

      1.1 PVD

      PVD是英文Physical Vapor Deposition(物理氣相沉積)的縮寫,是指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術,利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質與氣體都發(fā)生電離,利用電場的加速作用,使被蒸發(fā)物質及其反應產物沉積在工件上。PVD鍍膜技術主要分真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜三類。

      真空蒸發(fā)鍍膜是通過加熱蒸發(fā)某種物質(比如金屬、化合物等)使其原子或分子以冷凝方式沉積在作為基體的固體表面;濺射鍍膜是用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基體上;離子鍍膜是蒸發(fā)物質的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術的結合。

      1.2 CVD

      CVD是Chemical Vapor Deposition(化學氣相沉積)的縮寫,很多反應物質在通常條件下是液態(tài)或固態(tài),經(jīng)過汽化成蒸汽再參與反應,通常是通過化學反應的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應器內使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學物質在氣相或氣固界面上經(jīng)化學反應形成固態(tài)沉積物。

      CVD是現(xiàn)代半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

      近年來,等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)發(fā)展起來,最早也是用于半導體材料的加工,將沉積溫度從1000℃降到600℃以下,最低的只有300℃左右。

      1.3 FCVA

      FCVA鍍膜是英文Filtered Cathodic Vacuum Arc的縮寫,即“過濾陰極真空電弧技術鍍膜”,對縫制機械行業(yè)而言還算是新事物。這種鍍膜技術正在為朝高速、無油環(huán)保方向發(fā)展的縫制機械提供助力。

     

    圖1 FDVE原理示意圖

      如圖1所示,F(xiàn)CVA使用異面雙彎過濾器以及高能電、磁場過濾除去多余宏觀顆粒和不帶電的離子,其膜層表面形貌方面的質量可以與CVD膜層相比。FCVA技術產生能像穩(wěn)定的電弧和純離子束流,能量可以根據(jù)不同的工藝要求精確控制,由FCVA技術沉積的碳膜和金屬膜質量高,其等離子掃描技術可以使鍍膜沉積面積提高到直徑12英寸以上。FCVA的鍍膜過程可以在低溫下(小于80攝氏度)進行,可廣泛應用于包括塑料和橡膠在內的各種領域,這點對縫制機械元器件來說也特別重要。

      FCVA技術的核心點是:原體是百分百的等離子體——除了電子、原子外還有正離子,這些是所需要鍍膜的材料本身產生的,比如鍍碳,就是碳正離子,而鍍銅則就是銅正離子,與工件上的電子合并成為中性的原子。它采用起弧方式產生100%離化的鍍膜粒子,這些鍍膜離子在到達鍍膜基體之前,通過外加電磁場來調節(jié)鍍膜離子的能量,而不像普通的磁控濺射鍍膜方式只能通過加熱的方法來增加鍍膜粒子的能量。

      過濾陰極電?。‵CA)配有高效的電磁過濾系統(tǒng),可將離子源產生的等離子體中的宏觀粒子、離子團過濾干凈,經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為100%,并且可以過濾掉大顆粒,因此制備的薄膜非常致密和平整光滑,抗腐蝕性能好,與機體的結合力很強。

      為了達到良好的效果,F(xiàn)CVA鍍膜對各工藝環(huán)節(jié)有嚴格的管理要求。鍍膜之前,要對待鍍膜的基體進行清洗,因為這些基體帶有空隙、空洞、油脂、污跡等,可通過真空加熱和清洗加熱去掉這些“臟東西”——鍍膜的基體一定要干凈無雜質。經(jīng)過處理的基體還應該在無菌的環(huán)境中上到夾具上,如果短時間不能鍍膜則會放到設置了一定溫度的保溫箱中,使其處于良好的狀態(tài)。

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